硅磨削加工设备超精密加工技术与设备
单晶硅片超精密磨削技术与设备 豆丁网
2015年10月12日 本文介绍了单晶硅片表面磨削工艺及其设备的发展历程，分析了目广泛应用的转台式磨削、硅片旋转磨削、双面磨削等硅片磨削技术的原理、适用场合及代表
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进一步探索
单晶硅片超精密磨削技术与设备-中国机械工程.pdf单晶硅设备工艺流程.ppt-全文可读 原创力文档百度百科
超精密加工技术讲义 USTC
2018年11月1日 超精密加工技术讲义 （中国科学技术大学 叶回春 博士） 1 超精密加工技术 超精密加工主要有超精密切削、超精密磨削以及抛光加工，其加工精度可以 达到亚微米
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单晶硅片超精密磨削技术与设备_百度文库
摘要 ： 结合单晶硅片的发展 ， 回顾了单晶硅片超精密磨削技术 与 设 备 的 发 展 历 程 ， 对比分析了广泛 硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点 ， 讨
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单晶硅片超精密磨削技术与设备89238 豆丁网
2015年10月12日 本文介绍了单晶硅片表面磨削工艺及其设备的发展历程,分析了目广泛应用的转台式磨削、硅片旋转磨削、双面磨削等硅片磨削技术的原理、适用场合及代表性
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祝贺！大尺寸硅片超精密磨削技术与装备项目荣获2019年
2020年1月13日 记者从获奖名单中了解到，“大尺寸硅片超精密磨削技术与装备” 项目荣获2019年度国家技术发明二等奖，该项目主要完成人为大连理工大学的康仁 科、董志刚、
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大尺寸硅片超精密磨削技术与装备-高校科技创新重大成就
“大尺寸硅片超精密磨削技术与装备”项目主要研究内容为磨床结构设计与分析、金刚石砂轮研制、硅片面型控制系统、硅片高效低损伤超精密磨削工艺等，并研制出国内首台大尺寸
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2019有研集团科技成果展示①——大尺寸硅片超精密磨削
2020年3月23日 经过多年的联合攻关，“大尺寸硅片超精密磨削工艺技术与设备”项目取得重大突破，成果整体达到国际先进水平。 利用该成果制造的硅片已供应于中芯国际集成电
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大尺寸硅片超精密磨削技术与装备项目荣获2019年国家科学
2020年1月13日 记者从获奖名单中了解到，“大尺寸硅片超精密磨削技术与装备” 项目荣获2019年度国家技术发明二等奖，该项目主要完成人为大连理工大学的康仁科、董志刚、
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2019 年国家科学技术奖提名项目公示内容 （技术发明奖） 一
2018年12月26日 开发的超精密磨削工艺、砂轮和磨床的技术指标达到国外同类产品的先进 水平，已应用于首条国产 300mm 硅材料成套加工设备示范线以及国内IC 制造 企业，满足规模化生产要求。研究成果具有自主知识产权，填补国内空白，打
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2019有研集团科技成果展示①——大尺寸硅片超精密磨削
2020年3月23日 经过多年的联合攻关，“大尺寸硅片超精密磨削工艺技术与设备”项目取得重大突破，成果整体达到国际先进水平。 利用该成果制造的硅片已供应于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司等用户，为“中国芯”制造提供了有力支撑！
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高端制造方法——超精密抛光技术, 不简单! 知乎
2018年11月9日 高端制造方法——超精密抛光技术, 不简单! UG编程. 帮助更多想学UG的同行更高效的提高自己的编程能力. 很早以看过这样一个报道，说是德国、日本等几个国家的科学家耗时5年时间，花了近千万元打造
get price精密超精密加工：为什么航空制造如此追求极致？_中国航空
2016年3月15日 精密超精密加工：为什么航空制造如此追求极致？. 2016-03-15 09:44 航空制造网微信公号 CAN译讯 专栏. 精密超精密加工技术的起源从一定意义上可以上溯到原始社会：当原始人类学会了制作具有一定形状且锋利的石器工具时，可以认为出现了最原始的手工
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精密技术与设备：超精密加工机理、设备制造、工具及刃磨
2021年12月20日 超精密加工技术主要包括：超精密加工的机理研究，超精密加工的设备制造技术研究，超精密加工工具及刃磨技术研究，超精密测量技术和误差补偿技术研究，超精密加工工作环境条件研究。. 1.发展精密和超精密加工技术的重要性. 随着科学技术的迅速发展和
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关于磨削加工，最重要的20个重点问题答疑 知乎
2020年10月17日 关于磨削加工，最重要的20个重点问题答疑. 1、什么是磨削加工？. 试举出几种磨削加工形式。. 答：磨削加工是借助磨具的切削作用，除去工件表面的多余层，使工件表面质量达到预定要求的加工方法。. 常见的磨削加工形式通常有：外圆磨削、内圆磨削、
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非球面零件超精密加工技术 知乎
2022年4月14日 1.2国外非球面零件的超精密加工技术的现状. 80年代以来，出现了许多种新的非球面超精密加工技术，主要有：. 计算机数控单点金刚石车削技术、计算机数控磨削技术、计算机数控离子束成形技术、计算机数控超精密抛光技术和非球面复印技术等，这些加工方
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尹韶辉-国家高效磨削工程技术研究中心 hnu.edu.cn
2021年9月28日 9. 国家863计划，微小非球面超精密复合加工机床，2007年12月-2010年12月，批准号：2006AA04Z335，负责人；已结题； 10. 国家重点科技支撑计划，车用光学透镜及模具超精密研磨加工装备与工艺，2008 年1月至2010 年12月，批准号：2007BAF29B03，负责
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高端制造的精密磨削技术_加工_砂轮_表面
2022年3月14日 随着科学技术水平不断的提高，磨削加工已广泛应用于金属及其他材料的粗、精加工，是非常重要的切削加工方式。目，磨削加工已经成为现代机械制造领域中实现精密与超精密加工最有效、应用最广泛的基本工艺技术，为人们提供高精度、高质量、高度自动化的技术装备的开发和研制。
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上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室
2020年12月1日 报告人简介：. 浙江工业大学资深教授，享受国务院政府特殊津贴专家，浙江省有突出贡献中青年专家。. 现任浙江工业大学超精密加工研究中心主任，机械工业特种精密磨削重点实验室主任，磨粒技术委员
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代表性科研项目
2021年4月25日 的加工理论与技术 贾振元 2009-2012 14. 国家自然科学基金重点课题 硅片与光电晶体基片的高效低损伤超 精密磨削技术研究 康仁科 2008-2011 15. 国家自然科学基金重点课题 面向快速制造的特种加工技术基础研 究 郭东明 2000-2002 16. 国家自然科学基金重大
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大直径硅片超精密磨削技术的研究与应用现状 豆丁网
2015年10月7日 本文详细分析了传统硅片加工工艺的局限性，介绍了几种大直径硅片超精密磨削加 工工艺的原理和特点，评述了国内外硅片超精密磨削技术与装备研究和应用的现状及发展方向，强调了我国开展大直径 硅片超精密磨削技术和装备研究的必要性。. 关键词：硅片
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单晶硅片的制造技术_加工
2020年12月28日 2 单晶硅片的加工工艺. 集成电路制造过程共分4个阶段：单晶硅片制造→半制程→硅片测试→后半制程。. 整个过程中要应用到微细加工和超精密加工等先进制造工艺和设备，而其中硅片的超精密加工（包括超精密磨削、研磨和抛光）工艺和设备在IC制造
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轴承制造技术——磨削加工 知乎
2021年5月26日 轴承磨削加工的环境随着加工要求条件的不同也会产生巨大变化，但是 高功能、高精度、低成本是轴承磨削加工永恒的课题 ，有利于环保也是非常重要的课题。. 轴承磨削加工包含 磨削、超精、研磨等，下面将重点介绍关于轴承磨削、超精加工的一些技术及
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超精密加工技术应用领域的关键技术_战争
2021年7月31日 对于超精密加工技术来说，最大的需求就是国防军事工业。我国的超精密加工技术与国外，特别是美、俄等发达国家相比，落后较多，面临的最大任务是根据目的需求如何在较短的时间内尽快提高超精密加工技术(包括设备及工艺)的水平，使之能够适应应用
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半导体行业专题研究报告：半导体切磨抛装备材料的国产化趋势
2023年3月2日 公司全资子公司英国 LP 公司拥有 50 多年的技术和行业经验，在加工超薄和超厚半导体器件领域具有全球领先优势；LPB 公司产品高性能高精密空气静压主轴、空气动压主轴、空气导轨、旋转工作台、精密线 性导轨和驱动器技术一直处于业界领先地位。
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超精密加工机床关键技术与应用 知乎
2022年9月1日 超精密加工机床关键技术. 机床系统总体综合设计技术。. 常规机床设计与制造，各环节技术上都有很大宽容度。. 超精密机床各环节基本都处于一种技术极限或临界应用状态，哪个环节稍考虑或处理不周，就会导致整体失败。. 因此，设计上需对机床系统整体和
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光学玻璃精密模压工艺及设备—中国光学光电子行业网 COEMA
2020年5月19日 光学玻璃精密模压工艺及设备. 玻璃的精密模压技术是20世纪80年代由美国柯达公司及日本保谷公司,为提高成像质量和简化光学系统所开发的。. 这种先进的压型工艺是将玻璃直接压制成光学元件,不再经过粗磨、细磨、抛光、镀膜工序。. 可直接装备到光学仪器
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2020极端磨削加工技术研讨会开幕，沿技术报告来了！_材料
2020年8月4日 目超声辅助磨削技术和装备，国内快速发展，已打破了国外垄断。超声辅助磨削技术将向高效化、微细化、精密化、自动化和智能化等方向发展。 4.《极端工况用高性能铝基复合材料加工技术研究进展》 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 高航
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硬脆材料超精密磨削技术研究进展综述
2023年9月25日 为了提高硬脆材料加工质量，需要对超精密磨削技术进行系统化的深入研究。. 本文从超精密磨削装备设计优化的角度出发，对自旋转磨削、双面磨削和磨抛一体化3种磨削方法的原理与机床设备进行了详细说明，介绍了超硬磨粒砂轮的制备、砂轮磨损检测与分析
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超精密加工技术讲义 USTC
2018年11月1日 本章就超精密加工机床的关键技术、超精密单点切削加工技术等分别进行 讨论。 1.1 超指密加工机床的关键技术 超精密加工机床是实现超精密加工的首要基础条件，随着加工精度要求的 提高和超精密加工技术的发展，超精密加工机床也获得了迅速发展。超精密
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磨削工艺对晶片表面粗糙度的影响 豆丁网
2016年6月27日 因此，我们必须依靠自己的力量研究具有自主知识产权的大直径硅片的超精密加工技术与设备。 随着硅片尺寸的增大，对超薄晶圆面型精度的要求也不断提高。例如，JB-802型全自动晶圆减薄机采用2000#砂轮可以将准200晶圆磨削到70，表面粗糙度（Ra
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2020极端磨削加工技术研讨会开幕，沿技术报告来了
2020年8月3日 8.《薄形零件的磨削加工技术与装备 》 湖南大学 周志雄 周志雄通过分析薄型零件的磨削加工关键技术与设备的研究背景和意义讲述了平面零件加工的问题难点和关键技术，继而分别介绍了针对轴承类零件和手机玻璃等零件用双端面磨削工艺与双
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光学元件超精密磨抛加工技术研究与装备开发 OE Journal
2022年5月25日 本文主要介绍了厦门大学精密工程实验室在光学超精密加工技术与装备方面的研究进展，围绕大口径光学非球面元件的磨削与抛光加工，阐述课题组研发的加工工艺、磨削与抛光装备、装备监控与控制软件以及相关单元技术。. 这些研究成果可为实现高端光学
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【深度好文】超精密加工设备的发展与展望_网易订阅
2017年6月2日 超精密加工设备的发展历史. 纵观国内外 40 多年超精密机床 发展史，可以总结出两大特点：一是 大学和研究所保持着对超精密机床 研究的持续热情，对高技术进行超 研究，对超精密机床产业化和商品化 起着推动的作用；二是超精密机床 的模块化、系统化是
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纳米级精密加工方案 助力光学模具高精度、高光洁度生产 知乎
2022年6月8日 据了解，250UPL-MP超精密加工机床是Moore Nanotech公司专为严苛公差的光学模具领域而开发设计的，其先进的设计体现在：. 1.主轴增强 ——工作主轴经过增强设计，采用高刚性多孔石墨涂层空气静压主轴，最高转速5000 RPM，并通过优化参数减少主轴跳动对模具的影响
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代表性获奖成果
2021年4月26日 大尺寸硅片超精密磨削技 术与装备 2019年度国家科学技术发明二等奖（牵头） 康仁科、董志刚、朱祥龙 5. 关联面形约束的大型复杂 曲面加工技术与装备 2014年度国家科学技术发明二等奖（牵头） 贾振元、王永青、孙玉文、刘 巍 6. 压电石英现代测试理论、
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硅片的超精密磨削理论与技术（书籍） 知乎
2023年7月3日 硅片的超精密磨削理论与技术（书籍）. 本书在介绍单晶硅的物理、化学和半导体性质，以及单晶硅片在集成电路制造中的应用和加工要求的基础上，全面系统地阐述了硅片旋转磨削原理、超精密磨削机理、超精密磨削工艺、超精密磨床，完整地总结了著者及其
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